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1,多室型溅射成型设备。STM5412,STM5213,STM4415 |
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2,负载锁定型溅射成型设备。STL5321,STL5111,STL5311 |
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3,批量型溅射成型设备。SRV4310,SRV6310,SRV7310 |
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4,在线型溅射成型设备。 |
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5,卷取式溅射成型设备。SDR系列 |
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6,超高真空溅射设备设备。STM2323 |
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7,研发用溅射成型设备。SRL3320,SDL4320,STL5520 |
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8,标准气相沉积设备。AMF-C850SPB,AMF-C1065SPB,AMF-C1275SPB,AMF-C2280SPB |
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9,气相沉积设备。AAMF-C1065SBR,AAMF-C2265SBR |
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10,负载锁定型气相沉积设备。AAMF-C845SB-L,AAMF-C1065SB-L,AAMF-C1275SB-L,AAMF-C1260SB-M |
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11,卧式气相沉积设备。AAMH-C1075SB,AAMH-C1080SB,AAMH-C20130SB |
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12,直列式气相沉积设备。CE-C450B,CE-750B,CE-C1040B |
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13,研发用气相沉积设备。EM-330S,EM-435S,AM-645SB,AMF-645SB |
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14,用于大尺寸树脂基板的气相沉积设备。 |
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15,特殊规格气相沉积设备。AMF-1675SB,AMF-1690SB,AMF-22100SB |
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16,等离子体CVD设备。 |
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17,等离子聚合设备。 |